과기부 공모 과제 선정 국비 49억 원 등 71억여 원 투입

▲ 홀로그램을 이용한 반도체 웨이퍼 3차원 검사장비 개발과 활용도.
▲ 홀로그램을 이용한 반도체 웨이퍼 3차원 검사장비 개발과 활용도.
구미시가 홀로그램을 이용한 반도체 웨이퍼 3차원 검사장비를 개발한다.

구미시는 최근 과학기술정보통신부가 추진하는 ‘홀로그램 기반 비접촉 비파괴형 제품 내외부 변형·결함 검출 기술개발’ 공모과제에 선정됐다고 13일 밝혔다.

선정된 과제는 2019년 6월 홀로그램 핵심기술개발 예비타당성 조사 통과 후 본격적으로 추진하는 홀로그램 연구개발(R&D) 사업의 하나다. 2024년까지 국비 49억 원 등 71억9천800만 원의 사업비가 투입된다.

이 과제는 반도체 적층 기술인 관통홀의 깊이 측정과 형상 검사를 위한 고속 비접촉 비파괴 3차원 검사장비 기술개발로 반도체 웨이퍼 불량 유무를 3차원으로 사전에 검사할 수 있어 생산 수율을 높이고 제조원가를 절감하는 등 제조 산업현장에 변화를 가져올 4차 산업혁명 기반 미래기술이다.

과제 총괄은 디스플레이 공정 장비와 회로검사 장비 기술, 웨이퍼 검사 기술을 보유하고 있는 구일엔지니어링이 맡고 구미전자정보기술원과 힉스컴퍼니가 협력한다.

특히 이번에 개발하는 기술은 2022년부터 2027년까지 구미지역을 중심으로 추진하는 홀로그램 팩토리 사업화 실증에 앞서 선행돼야 할 필요기술로 구미 지역기업이 선도적으로 참여한다는 점에서 의미가 크다.

장세용 구미시장은 “이번 기회를 통해 지역 중소기업이 홀로그램 원천기술을 확보해 기술 국산화에 앞장서고 대기업 편중의 경제구조에서 벗어날 수 있는 새로운 지역산업 발전 모델로 확산할 수 있도록 적극적으로 지원하겠다”고 말했다.



신승남 기자 intel887@idaegu.com
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